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光刻機溫度控制裝置選擇要從哪些方面進行

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環境測試模擬。光刻機溫度控制裝置選擇要從哪些方面進行

  • 產品型號:AES-4535
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-01-07
  • 訪  問  量:1287
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風冷式
價格區間5萬-10萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統壓力顯示制冷系統壓力采用指針式壓力表實現(高壓、低壓)
循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協議以太網接口TCP/IP協議
設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機法國泰康/艾默生
蒸發器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數據導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風機采用德國EBM軸流風機
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
溫度擴展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機溫度控制裝置選擇要從哪些方面進行

光刻機溫度控制裝置選擇要從哪些方面進行

  當前,光刻機溫度控制裝置行業正在加速發展,越來越多的光刻機溫度控制裝置不同型號和類型的集團正在涌現,如果選擇的設備不能*企業在性能和質量上的特定使用環境要求就會很麻煩,所以,光刻機溫度控制裝置的選擇要慎重。

  光刻機溫度控制裝置選擇時應注意以下三點:

  1.光刻機溫度控制裝置關鍵部件的選擇,壓縮機是影響光刻機溫度控制裝置性能的主要指標。在生產過程中,許多光刻機溫度控制裝置家制造商為了控制總體生產成本,在壓縮機等主要零件中采用了質量較差的產品,甚至使用翻新的壓縮機,這嚴重影響了后期的使用效率。工業時期光刻機溫度控制裝置,導致能耗增加。

  2.在確保光刻機溫度控制裝置主要功能的前提下,控制采購成本,并以較高的性價比來購買光刻機溫度控制裝置適合您所在行業的產品,以降低成本,滿足生產要求資金少的企業需求。

3.根據企業的使用環境購買無錫光刻機溫度控制裝置。水質和空氣質量對組光刻機溫度控制裝置的運行有一定影響。須提前將其所在企業的水質和空氣質量告知制造商。

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